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USTB-DY-2020086 北京科技大学偏压直流电源单一来源采购公示

北京科技大学货物与服务单一来源采购公示内容

采购项目

偏压直流电源

采购项目

负责人

庞晓露

拟采购货物或服务的

详细说明

1、偏压辅助沉积功能,在磁控溅射过程中对基底能够施加正负双极性的直流偏压(±150V),以达到改善薄膜组织结构的目的;

2、偏压清洗功能,在溅射之前对基底施加大偏压,将仓内Ar原子电离,Ar+轰击基板将以祛除基板上的氧化物薄膜;

3、适配现有设备的软件操作系统,能够在镀膜过程中随时施加或取消偏压辅助沉积

单一来源

采购原因

相关说明

我们现有设备为科特.莱斯科公司的 Pro Line PVD75 高功率脉冲薄膜沉积系统,设备号为∶E2003133。此设备不具备偏压辅助沉积功能。要采购的辅助直流偏压沉积直流电源有两个主要功能∶偏压辅助沉积功能和偏压清洗功能。除此之外,还能够良好适配现有镀膜操作系统,可兼容现有镀膜设备。能够在沉积过程中对基底施加0-150V的直流偏压,以达到改善薄膜组织结构,调控薄膜应力的目的。同时可应用于薄膜制备过程中应力场演变、残余应力演变规律等研究。国内外其他厂家电源设备被不能和现有镀膜设备兼容,因此,还需要采用原厂家偏压电源设备。

拟成交

供应商

名称:

科特莱思科(上海)商贸有限公司

地址:

中国上海自由贸易试验区张衡路 1000 弄31-32号

公示期限

2020年12月16日至2020年12月20日(不少于5个日历日)

招采中心

联系方式

联系地址:北京市海淀区学院路30号北京科技大学招标与采购管理中心货物与服务采购科(办公楼106室)

联 系 人:秦老师

联系电话:010-62332135

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